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集成電路科學與工程學院 第八屆“研究生學術交流月” 系列講座6
發(fā)布于:2023-06-15 14:54:47   |   作者:[學院] 集電學院   |   瀏覽次數(shù):6093

講座題目: 芯片制造中的圖形工藝

特邀專家: 張聰(上海華力集成電路制造有限公司)

講座時間:2023.06.28   16:00

講座地點: 立人樓A204


主講人簡介:

張聰,2006年自電子科技大學本科畢業(yè)后即進入半導體芯片制造工作,迄今共18年光刻工藝開發(fā)經(jīng)驗,曾參與過3家芯片廠建廠并均實現(xiàn)量產(chǎn)。

現(xiàn)今在上海華力集成電路制造有限公司先進模塊研發(fā)部工作,負責先進節(jié)點光刻工藝的開發(fā);工作期間實現(xiàn)了40nm,28nm,22nm等節(jié)點光刻工藝開發(fā)及量產(chǎn),同時管理的團隊成員由不到20人擴充至90多人。


內容簡介

介紹半導體芯片工藝中的圖形工藝,以及圖形工藝工程師(光刻/OPC)所從事的工作及先進圖形工藝發(fā)展的方向。