講座題目: 芯片制造中的圖形工藝
特邀專家: 張聰(上海華力集成電路制造有限公司)
講座時間:2023.06.28 16:00
講座地點: 立人樓A204
主講人簡介:
張聰,2006年自電子科技大學本科畢業(yè)后即進入半導體芯片制造工作,迄今共18年光刻工藝開發(fā)經(jīng)驗,曾參與過3家芯片廠建廠并均實現(xiàn)量產(chǎn)。
現(xiàn)今在上海華力集成電路制造有限公司先進模塊研發(fā)部工作,負責先進節(jié)點光刻工藝的開發(fā);工作期間實現(xiàn)了40nm,28nm,22nm等節(jié)點光刻工藝開發(fā)及量產(chǎn),同時管理的團隊成員由不到20人擴充至90多人。
內容簡介:
介紹半導體芯片工藝中的圖形工藝,以及圖形工藝工程師(光刻/OPC)所從事的工作及先進圖形工藝發(fā)展的方向。